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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Electrical Characteristics of Rare Earth (La, Ce, Pr and Tm) Oxides/Silicates Gate Dielectric 
著者
和文: 又野克哉, 船水清永, 幸田みゆき, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋.  
英文: Katuya Matano, Kiyohisa Funamizu, Miyuki Kouda, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 1129-1134
出版年月 2010年3月 
出版者
和文: 
英文:[ 
会議名称
和文: 
英文:China Semiconductor Technology International Conference 
開催地
和文: 
英文:Shanghai, China 

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