Epitaxial growth of wide bandgap semiconductor: α-Ga2O3 thin film on α-AlGa2O3 by ultrasonic spray chemical vapor deposition

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Epitaxial growth of wide bandgap semiconductor: α-Ga₂O₃ thin film on α-AlGa₂O₃ by ultrasonic spray chemical vapor deposition

著者

和文:	篠原大輔, 西中浩之, 大島孝仁, 藤田静雄.
英文:	Daisuke Shinohara, Hiroyuki Nishinaka, Takayoshi Oshima, Shizuo Fujita.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

PII-54

出版年月

2007年10月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	14th International Workshop on Oxide Electronics

開催地

和文:
英文:	Jeju, Korea