【重要】T2R2・STARSearchの停止と後継システムについて
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論文・著書情報
タイトル
和文:
英文:
Vacancy-Type Defects in Ultra-Shallow Junctions Fabricated Using Plasma Doping Studied by Positron Annihilation
著者
和文:
Akira Uedono
,
筒井一生
,
Shoji Ishibashi
,
Hiromichi Watanabe
,
Shoji Kubota
,
Kazuki Tenjinbayashi
,
中川恭成
,
水野文二
,
服部健雄
,
岩井洋
.
英文:
Akira Uedono
,
KAZUO TSUTSUI
,
Shoji Ishibashi
,
Hiromichi Watanabe
,
Shoji Kubota
,
Kazuki Tenjinbayashi
,
Yasumasa Nakagawa
,
Bunji Mizuno
,
takeo hattori
,
HIROSHI IWAI
.
言語
English
掲載誌/書名
和文:
英文:
巻, 号, ページ
出版年月
2010年5月
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
英文:
IEEE IWJT 2010 Extended Abstracts 2010 International Workshop on Junction Technology
開催地
和文:
英文:
Shanghai, China
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