Development of Coarse/Fine Dual Stages using Pneumatically Driven Bellows Actuator and Cylinder wiht Air Bearings

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Development of Coarse/Fine Dual Stages using Pneumatically Driven Bellows Actuator and Cylinder wiht Air Bearings

著者

和文:	川嶋健嗣, 新井豪, 只野耕太郎, 藤田壽憲, 香川利春.
英文:	Kenji Kawashima, Takeshi Arai, Kotaro Tadano, Toshinori Fujita, Toshiharu Kagawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Precision Engineering

巻, 号, ページ

Vol. 34 pp. 526-533

出版年月

2010年7月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI