Sub-Nanometer Positioning with a High Resolution Laser Interferometer

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Sub-Nanometer Positioning with a High Resolution Laser Interferometer

著者

和文:	吉岡勇人, 黒山翔太, 澤野宏, 新野秀憲.
英文:	Hayato YOSHIOKA, Shota Kuroyama, Hiroshi SAWANO, Hidenori SHINNO.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of the euspen International Conference

巻, 号, ページ

Vol. 1 pp. 404-407

出版年月

2010年6月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	euspen International Conference

開催地

和文:
英文:	Delft, Netherlands

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