Study on delamination mechanism of SU-8 micropillars on a Si-substrate

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Study on delamination mechanism of SU-8 micropillars on a Si-substrate

著者

和文:	田崎俊和, TSO-FUMARK CHANG, 石山千恵美, 曽根正人.
英文:	Toshikazu Tasaki, Tso-Fu Mark Chang, CHIEMI ISHIYAMA, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	MNE 2010

巻, 号, ページ

p. P-LITH-6

出版年月

2010年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	MNE 2010, 36th International Conference on Micro& Nano Engineering

開催地

和文:
英文:	Genoa, Italy