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論文・著書情報
タイトル
和文:
英文:
DEVELOPMENT OF 335 mm LINEAR-TYPE ATMOSPHERIC PLASMA SOURCE FOR SURFACE TREATMENT
著者
和文:
Masaki Ichikawa
,
佐々木良太
,
Moe Shibata
,
Shotaro Yamasaki
,
Hideyuki Hirai
,
Toshiyuki Tamura
,
Hidekazu Miyahara
,
Akitoshi Okino
.
英文:
Masaki Ichikawa
,
ryouta sasaki
,
Moe Shibata
,
Shotaro Yamasaki
,
Hideyuki Hirai
,
Toshiyuki Tamura
,
hidekadzu miyahara
,
AKITOSHI OKINO
.
言語
English
掲載誌/書名
和文:
英文:
巻, 号, ページ
出版年月
2010年6月
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
英文:
ICOPS 2010(37th IEEE International Conference on Plasma Science)
開催地
和文:
米国ヴァージニア州ノーフォーク
英文:
Norfolk, VA, USA.
©2007
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