DEVELOPMENT OF 335 mm LINEAR-TYPE ATMOSPHERIC PLASMA SOURCE FOR SURFACE TREATMENT

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	DEVELOPMENT OF 335 mm LINEAR-TYPE ATMOSPHERIC PLASMA SOURCE FOR SURFACE TREATMENT

著者

和文:	Masaki Ichikawa, 佐々木良太, Moe Shibata, Shotaro Yamasaki, Hideyuki Hirai, Toshiyuki Tamura, Hidekazu Miyahara, Akitoshi Okino.
英文:	Masaki Ichikawa, ryouta sasaki, Moe Shibata, Shotaro Yamasaki, Hideyuki Hirai, Toshiyuki Tamura, hidekadzu miyahara, AKITOSHI OKINO.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2010年6月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	ICOPS 2010(37th IEEE International Conference on Plasma Science)

開催地

和文:	米国ヴァージニア州ノーフォーク
英文:	Norfolk, VA, USA.