可視化観察による熱インプリントプロセスの特徴把握と実験的考察

論文・著書情報

タイトル

和文:	可視化観察による熱インプリントプロセスの特徴把握と実験的考察
英文:	Experimental Analysis and Characterization on Thermal Imprint Process via In-situ Observation

著者

和文:	齊藤卓志, 川口達也, 佐藤勲.
英文:	Takushi Saito, Tatsuya Kawaguchi, Isao Satoh.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）
英文:	IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines

巻, 号, ページ

Vol. 130 No. 8 pp. 356-362

出版年月

2010年8月

出版者

和文:	電気学会
英文:	The Institute of Electrical Engineers of Japan

会議名称

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開催地

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