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論文・著書情報


タイトル
和文:Nd-Fe-B/Ta多層永久磁石薄膜の磁気デバイスへの応用とドライエッチングによる微細加工の検討 
英文: 
著者
和文: 上原 稔, 石橋 正登, 進士 忠彦.  
英文: 上原 稔, Masato Ishibashi, TADAHIKO SHINSHI.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第34回日本磁気学会学術講演概要集2010 
英文: 
巻, 号, ページ         p. 141
出版年月 2010年9月 
出版者
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会議名称
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開催地
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