炭素膜合成用パルスプラズマの発光分光分析 | T2R2 東京工業大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	炭素膜合成用パルスプラズマの発光分光分析
英文:

著者

和文:	高島舞, 望月佳彦, 大竹尚登.
英文:	Mai Takashima, Yoshihiko Mochiduki, NAOTO OHTAKE.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第71回応用物理学会学術講演会講演予稿集
英文:

巻, 号, ページ

CD-ROM

出版年月

2010年9月

出版者

和文:	応用物理学会
英文:

会議名称

和文:	第71回応用物理学会学術講演会
英文:

開催地

和文:	長崎大学
英文:

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