A SPICE-based Multi-physics Seamless Simulation Platform for CMOS-MEMS

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A SPICE-based Multi-physics Seamless Simulation Platform for CMOS-MEMS

著者

和文:	小西敏文, 町田克之, 石原昇, 益一哉, 町田克之, 石原昇, 益一哉, Hiroyuki Fujita, Hiroshi Toshiyoshi.
英文:	Toshifumi Konishi, Satoshi Maruyama, Takaaki Matsushima, Makoto Mita, Katsuyuki Machida, Noboru Ishihara, Kazuya Masu, Hiroyuki Fujita, Hiroshi Toshiyoshi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Extended Abstracts of the 2010 International Conference on Solid State Devices and Materials

巻, 号, ページ

pp. 1158-1159

出版年月

2010年9月

出版者

和文:
英文:	2010 International Conference on Solid State Devices and Materials

会議名称

和文:
英文:	2010 International Conference on Solid State Devices and Materials

開催地

和文:
英文:	Tokyo, Japan