Electrical Properties of Yttrium-Titanium Oxide High-k Gate Dielectric on Ge

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Electrical Properties of Yttrium-Titanium Oxide High-k Gate Dielectric on Ge

著者

和文:	M.Bera, パールハットアヘメト, 角嶋邦之, 筒井一生, 杉井信之, 西山彰, 服部健雄, 岩井洋.
英文:	M.Bera, Ahmet Parhat, Kuniyuki KAKUSHIMA, KAZUO TSUTSUI, Nobuyuki Sugii, 西山彰, takeo hattori, HIROSHI IWAI.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2010年10月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	ECS 218th Meeting

開催地

和文:
英文:	Las Vegas, USA