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論文・著書情報


タイトル
和文:スパッタ法によるAl-Zn-Sn-O チャネルＴＦＴの作製 
英文:Fabrication of Al-Zn-Sn-O TFT by sputtering method 
著者
和文: 羽賀健一, 徳光永輔.  
英文: Kenichi Haga, Eisuke Tokumitsu.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ         6P34
出版年月 2010年11月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:薄膜材料デバイス研究会、第７回研究集会 
英文:THIN FILM MATERIALS & DEVICES MEETING 
開催地
和文:奈良１００年会館 
英文: 

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