Electromagnetic-Force-Driving Type Mems Switch Using High Performance NdFeB/Ta Thin Film Permanent Magnet

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Electromagnetic-Force-Driving Type Mems Switch Using High Performance NdFeB/Ta Thin Film Permanent Magnet

著者

和文:	石橋正登, 田辺亮, 進士忠彦, Minoru Uehara.
英文:	Masato Ishibashi, Ryo Tanabe, Tadahiko Shinshi, Minoru Uehara.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of The Twenty-fifth Annual Meeting of The American Society for Precision Engineering

巻, 号, ページ

出版年月

2010年11月

出版者

和文:
英文:	American Society for Precision Engineering

会議名称

和文:
英文:	The Twenty-fifth Annual Meeting of The American Society for Precision Engineering

開催地

和文:
英文:	Atlanta,USA