ateral  Recrystallized Si Thin Films with Large Tensile Strain for High Performance Thin  Film Transistors

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	ateral Recrystallized Si Thin Films with Large Tensile Strain for High Performance Thin Film Transistors

著者

和文:	藤井俊太朗, 黒木伸一郎, 朱小莉, 沼田雅之, 小谷光司, 伊藤隆司.
英文:	S. Fujii, S. Kuroki, Z. Xiaoli, M. Numata, K. Kotani, T. Ito.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Extended Abstracts of the 2007 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2007)

巻, 号, ページ

566-567

出版年月

2007年9月

出版者

和文:
英文:	2007 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2007)

会議名称

和文:
英文:	2007 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2007)

開催地

和文:
英文:	Ibaraki, Japan