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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Soft X-ray Photoelectron Spectroscopy Study of Activation and Deactivation of Impurities in Shallow Junctions 
著者
和文: 筒井一生, 田中正興, 星野憲文, 野平博司, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 佐々木雄一朗, 水野文二, T. Muro, T. Kinoshita, 服部健雄, 岩井洋.  
英文: KAZUO TSUTSUI, Masaoki Tanaka, Norifumi Hoshino, Hiroshi Nohira, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, 佐々木雄一朗, Bunji Mizuno, T. Muro, T. Kinoshita, takeo hattori, HIROSHI IWAI.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2010年11月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:ICSICT(International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology)2010 
開催地
和文: 
英文:Shanghai, China 

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