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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Scaling of EOT Beyond 0.5nm 
著者
和文: パールハットアヘメト, 来山大祐, 金田 翼, 鈴木 拓也, 小柳友常, 幸田みゆき, M. Mamatrishat, 川那子高暢, 角嶋邦之, 岩井洋.  
英文: Ahmet Parhat, 来山大祐, 金田 翼, 鈴木 拓也, Tomotsune Koyanagi, Miyuki Kouda, M. Mamatrishat, Takamasa Kawanago, Kuniyuki KAKUSHIMA, HIROSHI IWAI.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2010年11月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:ICSICT(International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology)2010 
開催地
和文: 
英文:Shanghai, China 

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