High-kゲートスタックMOSFETにおける電子移動度のリモート界面ラフネス散乱依存性

論文・著書情報

タイトル

和文:	High-kゲートスタックMOSFETにおける電子移動度のリモート界面ラフネス散乱依存性
英文:

著者

和文:	マイマイティマイマイティレャアティ, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋.
英文:	マイマイティマイマイティレャアティ, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2010年9月

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第７１回応用物理学会学術講演会
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開催地

和文:	長崎大学
英文: