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論文・著書情報


タイトル
和文:スパッタ法によるAl-Zn-Sn-OチャネルTFTの作製 
英文: 
著者
和文: 羽賀健一, 徳光永輔.  
英文: Kenichi Haga, EISUKE TOKUMITSU.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2010年9月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第７１回応用物理学会学術講演会 
英文: 
開催地
和文:長崎大学文教キャンパス 
英文: 

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