EUV Radiation from Laser Triggered Tin Target Discharge Produced Plasma

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	EUV Radiation from Laser Triggered Tin Target Discharge Produced Plasma

著者

和文:	ｽﾞｷｭｼ, 山田淳三郎, 岸望, 渡邊正人, 沖野晃俊, 堀田栄喜.
英文:	Qiushi Zhu, Junzaburo Yamada, Nozomu Kishi, Masato Watanabe, Akitoshi Okino, Eiki Hotta.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2008年6月

出版者

和文:
英文:	SPIE

会議名称

和文:
英文:	2008 International Workshop on EUV Lithography

開催地

和文:
英文:	Maui, Hawaii, USA