Experimental Study on Xenon and Tin Discharge Produced Plasma EUV Light Source

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Experimental Study on Xenon and Tin Discharge Produced Plasma EUV Light Source

著者

和文:	渡邊正人, 岸望, 山田淳三郎, 作地修, Jiang Fei, ｽﾞｷｭｼ, 沖野晃俊, 堀岡一彦, 堀田栄喜.
英文:	Masato Watanabe, Nozomu Kishi, Junzaburo Yamada, Osamu Sakuchi, Jiang Fei, Zhu Qiushi, Akitoshi Okino, Kazuhiko Horioka, Eiki Hotta.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IEEE Conference Record Abstracts The 35th IEEE International Conference on Plasma Science

巻, 号, ページ

1P67 p. 170

出版年月

2008年6月

出版者

和文:
英文:	IEEE

会議名称

和文:
英文:	The 35th IEEE International Conference on Plasma Science

開催地

和文:
英文:	Karlsruhe, Germany