VHF プラズマにより作製されたシリコンナノ結晶のレーザアニーリング

論文・著書情報

タイトル

和文:	VHF プラズマにより作製されたシリコンナノ結晶のレーザアニーリング
英文:

著者

和文:	中峯嘉文, Michiel Van Der Zwan, Johan Van Der Cingel, 小寺哲夫, 内田建, 石原良一, 小田俊理.
英文:	Yoshifumi Nakamine, Michiel Van Der Zwan, Johan Van Der Cingel, Tetsuo Kodera, Ken Uchida, 石原良一, SHUNRI ODA.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

27p-BA-4

出版年月

2011年3月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第58回応用物理学関係連合講演会
英文:

開催地

和文:	厚木市
英文: