Anomalous Electron Mobility in Extremely-Thin SOI (ETSOI) Diffusion Layers with SOI Thickness of Less Than 10 nm and High Doping Concentration of Greater Than 1×1018cm-3

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Anomalous Electron Mobility in Extremely-Thin SOI (ETSOI) Diffusion Layers with SOI Thickness of Less Than 10 nm and High Doping Concentration of Greater Than 1×1018cm-3

著者

和文:	角谷直哉, 高橋綱己, K. Chen, 小寺哲夫, 小田俊理, 内田建.
英文:	N. Kadotani, T. Takahashi, K. Chen, T. Kodera, S. Oda, K. Uchida.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2010年12月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	EDM2010

開催地

和文:
英文:	San Francisco