Analysis of Time Dependent Polymer Deformation Based on a Viscoelastic Model in Thermal Imprint Process

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Analysis of Time Dependent Polymer Deformation Based on a Viscoelastic Model in Thermal Imprint Process

著者

和文:	高木秀樹, M.Takahashi, R.Maeda, 大西有希, Y.Iriye, T.Iwasaki, Y.Hirai.
英文:	高木秀樹, M.Takahashi, R.Maeda, Y.Onishi, Y.Iriye, T.Iwasaki, Y.Hirai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2007年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	33rd International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE)

開催地

和文:
英文: