Numerical and Experimental Analysis of Intermittent Line-and-Space Patterns in Thermal Nanoimprint

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Numerical and Experimental Analysis of Intermittent Line-and-Space Patterns in Thermal Nanoimprint

著者

和文:	大西有希, 高木秀樹, Y.Hirai, M, Takahashi, R.Maeda, T.Tanabe, Y.Iriye.
英文:	Y.Onishi, 高木秀樹, Y.Hirai, M, Takahashi, R.Maeda, T.Tanabe, Y.Iriye.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2007年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	20th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC)

開催地

和文:
英文: