A Newly Developed AFM-based Three Dimensional Profile Measuring System

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Newly Developed AFM-based Three Dimensional Profile Measuring System

著者

和文:	澤野宏, 綾田翔, 吉岡勇人, 新野秀憲.
英文:	Hiroshi SAWANO, Sho AYADA, Hayato YOSHIOKA, Hidenori SHINNO.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of the 11th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology

巻, 号, ページ

Vol. 1 pp. 108-112

出版年月

2011年5月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	11th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology

開催地

和文:	コモ
英文:	Lake Como

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