A Study on the Effect of Sublimation Source on the Properties of Amorphous Carbon Films Deposited in Electron Beam Excited Plasma

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Study on the Effect of Sublimation Source on the Properties of Amorphous Carbon Films Deposited in Electron Beam Excited Plasma

著者

和文:	ﾊﾞｰｴｽﾞﾀｶﾞﾋﾞﾊﾒﾄﾞ, 平田敦.
英文:	Taghavi Hamed Vaez, ATSUSHI HIRATA.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	第24回ダイヤモンドシンポジウム講演要旨集
英文:

巻, 号, ページ

pp. 188-189

出版年月

2010年11月17日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第24回ダイヤモンドシンポジウム
英文:

開催地

和文:
英文: