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論文・著書情報


タイトル
和文:液中プラズマの生成と応用について 
英文: 
著者
和文: 安岡康一.  
英文: KOICHI YASUOKA.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文:SPUTTERING&PLASMA PROCESSES 
巻, 号, ページ Vol. 26    No. 4    p. 11-20
出版年月 2011年8月31日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会第125回定例研究会 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 

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