電子線リソグラフィ法を用いた微細孔モデルの作成と熱拡散率評価 | T2R2 東京工業大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	電子線リソグラフィ法を用いた微細孔モデルの作成と熱拡散率評価
英文:

著者

和文:	森川淳子.
英文:	Junko Morikawa.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第４６回熱測定討論会講演要旨集
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 46 p. 152

出版年月

2010年9月27日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第４６回熱測定討論会
英文:

開催地

和文:	津
英文:

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