Optical and Langmuir probe diagnostics of an Argon plasma in an RF reactive magnetron sputtering system

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Optical and Langmuir probe diagnostics of an Argon plasma in an RF reactive magnetron sputtering system

著者

和文:	森伸介, Houssam Fakhouri, Jerome Pulpytel, Farzaneh Arefi-Khonsari.
英文:	Shinsuke Mori, Houssam Fakhouri, Jerome Pulpytel, Farzaneh Arefi-Khonsari.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of 20th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC20)

巻, 号, ページ

出版年月

2011年7月24日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	20th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC20)

開催地

和文:
英文:	Philadelphia