Numerical study of the initial gas distribution on a gas jet plasma EUV source

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Numerical study of the initial gas distribution on a gas jet plasma EUV source

著者

和文:	Huang Bin, Xie Bin, Jiang Fei, 冨塚拓, 滝本泰大, 渡邊正人, 肖鋒, 堀田栄喜.
英文:	Bin Huang, Bin Xie, Fei Jiang, Taku Tomizuka, Yasuhiro Takimoto, Masato Watanabe, Feng Xiao, Eiki Hotta.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of 2011 Annual Conference of Fundamentals and Materials Society IEE Japan

巻, 号, ページ

出版年月

2011年9月21日

出版者

和文:
英文:	IEE Japan

会議名称

和文:
英文:	2011 Annual Conference of Fundamentals and Materials Society IEE Japan

開催地

和文:
英文:	Tokyo