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論文・著書情報


タイトル
和文:集積化 CMOSCMOS--MEMSMEMS のための統合設計技術統合設計技術の検討 (2) 
英文:A Multi-physics Simulation Technique for Integrated CMOS-MEMS (2) 
著者
和文: 小西 敏文, 丸山 智史, 松島 隆明, 三田 信, 町田 克之, 伊藤 浩之, 石原 昇, 益一哉, 藤田 博之, 年吉 洋.  
英文: Toshifumi Konishi, Tomofumi Maruyama, Takaaki Matsushima, Makoto Mita, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Kazuya Masu, Hiroyuki Fujita, Hiroshi Toshiyoshi.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第 72 回応用物理学会学術講演会 講演予稿集(2011 秋 山形大学) 30a-E-14 
英文: 
巻, 号, ページ         p. 22-014
出版年月 2011年8月30日 
出版者
和文:応用物理学会 
英文: 
会議名称
和文:第 72 回応用物理学会学術講演会 
英文: 
開催地
和文:山形 
英文: 

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