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論文・著書情報
タイトル
和文:
様々な液体原料を用いたIn-Zn-O薄膜の形成と薄膜トランジスタ応用
英文:
著者
和文:
清水貴也
,
羽賀健一
,
徳光永輔
,
金田敏彦
,
下田達也
.
英文:
Takaya Shimizu
,
Kenichi Haga
,
EISUKE TOKUMITSU
,
Toshihiko Kaneda
,
Tatsuya Shimoda
.
言語
Japanese
掲載誌/書名
和文:
英文:
巻, 号, ページ
出版年月
2011年11月
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
薄膜材料デバイス研究会、第8回研究集会
英文:
開催地
和文:
京都
英文:
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