微小導体球静電マニピュレーションにおける球･基板間近接手法

論文・著書情報

タイトル

和文:	微小導体球静電マニピュレーションにおける球･基板間近接手法
英文:	Electrostatic manipulation of a micro-conductive particle with short particle-plate distance

著者

和文:	中林大三, 澤井賢司, 高橋邦夫, 齋藤滋規.
英文:	Daizo Nakabayashi, Kenji SAWAI, KUNIO TAKAHASHI, Shigeki SAITO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	2011年度精密工学会春季大会論文集
英文:

巻, 号, ページ

pp.879-880

出版年月

2011年3月

出版者

和文:
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会議名称

和文:	2011年度精密工学会春季大会
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開催地

和文:
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