Experimental Evidence of Increased Deformation Potential at MOS Interface and its Impact on Characteristics of ETSOI FETs

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Experimental Evidence of Increased Deformation Potential at MOS Interface and its Impact on Characteristics of ETSOI FETs

著者

和文:	大橋輝之, 高橋綱己, 別府伸耕, 小田俊理, 内田建.
英文:	T. Ohashi, T. Takahashi, N. Beppu, S. Oda, K. Uchida.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

No. 16.4

出版年月

2011年12月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	IEDM2011

開催地

和文:
英文:	Washington DC