Electrostatic Chuck Consisting of Electrostatic Inductive Polymer Fibers for Handling of Curved Surface

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Electrostatic Chuck Consisting of Electrostatic Inductive Polymer Fibers for Handling of Curved Surface

著者

和文:	澤井賢司, 宝田亘, 鞠谷雄士, 高橋邦夫, 齋藤滋規.
英文:	Kenji SAWAI, wataru takarada, TAKESHI KIKUTANI, KUNIO TAKAHASHI, Shigeki SAITO.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Abstracts

巻, 号, ページ

V17.41

出版年月

2011年11月28日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	MRS 2011 Fall Meeting

開催地

和文:
英文:	Boston