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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Electrostatic Chuck Consisting of Electrostatic Inductive Polymer Fibers for Handling of Curved Surface 
著者
和文: 澤井賢司, 宝田亘, 鞠谷雄士, 高橋邦夫, 齋藤滋規.  
英文: Kenji SAWAI, wataru takarada, TAKESHI KIKUTANI, KUNIO TAKAHASHI, Shigeki SAITO.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Abstracts 
巻, 号, ページ         V17.41
出版年月 2011年11月28日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:MRS 2011 Fall Meeting 
開催地
和文: 
英文:Boston 

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