ドライエッチングによる(001)TiO2単結晶のマイクロ規則構造の作製

論文・著書情報

タイトル

和文:	ドライエッチングによる(001)TiO2単結晶のマイクロ規則構造の作製
英文:	Fabrication of TiO2 microstructure by reactive ion etchin

著者

和文:	林未来郎, 守井泰士, 松谷晃宏, 西岡國生, 磯部敏宏, 松下祥子, 中島章.
英文:	M.Hayashi, Y.Morii, A.Matsutani, K. Nishioka, T.Isobe, S.Matsushita, A.Nakajima.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2012年3月27日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	日本セラミックス協会 2012年年会
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開催地

和文:	京都
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