Chemical Vapor Deposition of Aluminum Enhanced by Magnetron-Plasma

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Chemical Vapor Deposition of Aluminum Enhanced by Magnetron-Plasma

著者

和文:	加藤隆, 伊藤隆司, 前田守.
英文:	Takashi Kato, Takashi Ito, Mamoru Maeda.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of The Electrochemical Society

巻, 号, ページ

Vol. 135 No. 2 pp. 455-459

出版年月

1988年2月1日

出版者

和文:
英文:	The Electrochemical Society

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: