DPP方式によるEUV光源の電子密度の計測

論文・著書情報

タイトル

和文:	DPP方式によるEUV光源の電子密度の計測
英文:	Measurement of EUV output and electron desity in a Xe-based DPP source

著者

和文:	冨塚拓, Huang Bin, 渡辺正人, 堀田栄喜.
英文:	Taku Tomizuka, Bin Huang, Masato Watanabe, Eiki Hotta.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	電気学会研究会資料, 放電研究会
英文:	The Papers of Technical Meeting on Eletcrical Discharges

巻, 号, ページ

pp. 47-52

出版年月

2012年3月9日

出版者

和文:	電気学会
英文:	IEE Japan

会議名称

和文:	放電研究会
英文:	The Papers of Technical Meeting on Eletcrical Discharges

開催地

和文:	埼玉
英文:	Saitama