高密度光電融合インターフェース回路集積法に関する基礎的検討

筒井信一; 植之原裕行

論文・著書情報

タイトル

和文:	高密度光電融合インターフェース回路集積法に関する基礎的検討
英文:

著者

和文:	筒井信一, 植之原裕行.
英文:	Shinnichi Tsutsui, Hiroyuki Uenohara.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2012年5月11日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	電子情報通信学会OPE研究会
英文:

開催地

和文:	高知
英文:

アブストラクト

ボード内・ボード間インターコネクションのための高密度光インターコネクション用光電融合インターフェース回路として、VCSEL・面型PDを同一基板上に配置し、基板に集積したレンズを介して基板裏面に形成したポリマー導波路間で入出力する構成の実現をめざし、その基礎検討を行った。VCSEL・PDとポリマー導波路との結合を同一構造の集積レンズで実現するための光学設計を行い、GaAs基板厚400m、マルチモード導波路のコア厚50m、下部クラッド厚10mとしたとき、レンズ直径150～320m（マスク直径60m以上）で実現可能である結果を得た。またGaAs基板に作成したレンズの光学特性評価を行い、マスク径60mにおいて有効径50m、曲率半径255±5.5mおよび設計に近い焦点距離を実現した。更に、その上面に形成したポリマー導波路への光結合を検討したので報告する。

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