A newly developed nano-pattern generator equipped with an on-machine measuring function

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A newly developed nano-pattern generator equipped with an on-machine measuring function

著者

和文:	澤野宏, 吉岡勇人, 新野秀憲.
英文:	Hiroshi SAWANO, Hayato YOSHIOKA, Hidenori SHINNO.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of the 12th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology

巻, 号, ページ

Vol. 2 pp. 189-192

出版年月

2012年6月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	12th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology

開催地

和文:	ストックホルム
英文:	Stockholm

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