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論文・著書情報
タイトル
和文:
英文:
Effects of Specimen Dimensions on Adhesive Shear Strength between a Microsized SU-8 Column and Silicon Substrate
著者
和文:
石山 千恵美
,
田崎 俊和
,
TSO-FU MARK CHANG
,
曽根 正人
.
英文:
Chiemi Ishiyama
,
Toshikazu Tasaki
,
Tso-Fu Mark Chang
,
Masato Sone
.
言語
English
掲載誌/書名
和文:
英文:
Japan Journal of Applied Physics
巻, 号, ページ
Vol. 51 No. 6 Page 06FL19
出版年月
2012年6月27日
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
英文:
開催地
和文:
英文:
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