Multiwavelength-integrated local model fitting method for interferometric surface profiling.

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Multiwavelength-integrated local model fitting method for interferometric surface profiling.

著者

和文:	杉山将.
英文:	Sugiyama, M..

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	the Japan Society for Precision Engineering 2012 Spring Meeting

巻, 号, ページ

pp. 1027-1028

出版年月

2012年5月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	the Japan Society for Precision Engineering 2012 Spring Meeting

開催地

和文:
英文:	Tokyo