Continuous flow reaction system for nanoscale wiring by Cu electroplating using suspension of supercritical CO2 in electrolyte with Cu particles

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Continuous flow reaction system for nanoscale wiring by Cu electroplating using suspension of supercritical CO2 in electrolyte with Cu particles

著者

和文:	清水哲也, 石本悠真, TSO-FU MARK CHANG, 里達雄, 曽根正人.
英文:	Tetsuya Shimizu, Yuma Ishimoto, Tso-Fu Mark Chang, Tatsuo Sato, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	38th International Conference on Micro and Nano Engineering, (MNE2012)

巻, 号, ページ

pp. P086-027

出版年月

2012年9月16日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	38th International Conference on Micro and Nano Engineering, (MNE2012)

開催地

和文:
英文:	Toulouse