アレイ型CMOS-MEMS加速度センサの検討

論文・著書情報

タイトル

和文:	アレイ型CMOS-MEMS加速度センサの検討
英文:	A Study on Arrayed CMOS-MEMS Accelerometers

著者

和文:	山根大輔, 本橋剛, 小西敏文, 松島隆明, 伊藤浩之, 石原昇, 年吉洋, 町田克之, 益一哉.
英文:	Daisuke Yamane, gou motohashi, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Hiroshi Toshiyoshi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
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巻, 号, ページ

出版年月

2012年7月20日

出版者

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会議名称

和文:	応用物理学会・集積化MEMS技術研究会主催第3回集積化MEMS技術研究ワークショップ
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開催地

和文:	岩手県雫石
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