Fabrication of multilayer nano dot array structures by combination of coating, nano plastic forming and annealing process

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fabrication of multilayer nano dot array structures by combination of coating, nano plastic forming and annealing process

著者

和文:	Li Zhenxing, 山中晃徳, 吉野雅彦.
英文:	Zhenxing Li, Akinori Yamanaka, Masahiko Yoshino.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of 4th Asian Workshop on Nano/Micro Forming Technology

巻, 号, ページ

pp. 29-30

出版年月

2011年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	4th Asian Workshop on Nano/Micro Forming Technology

開催地

和文:
英文: