Fabrication of multilayer ordered metallic nano-dot arrays by nano plastic forming and thermal dewetting process

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fabrication of multilayer ordered metallic nano-dot arrays by nano plastic forming and thermal dewetting process

著者

和文:	Li Zhenxing, 山中晃徳, 吉野雅彦.
英文:	Zhenxing Li, Akinori Yamanaka, Masahiko Yoshino.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	2012年精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
英文:

巻, 号, ページ

pp. 63-64

出版年月

2012年3月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	2012年精密工学会春季大会学術講演会
英文:

開催地

和文:
英文: