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論文・著書情報


タイトル
和文:レーザ照射によるシリコン基板表面の選択的改質 
英文: 
著者
和文: 篠原 亘, 青野祐子, 佐々木雄希, 平田 敦, 戸倉 和.  
英文: Wataru Shinohara, Yuko Aono, Yuki Sasaki, ATSUSHI HIRATA, HITOSHI TOKURA.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:2012年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 325-326
出版年月 2012年9月1日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:2012年度精密工学会秋季大会学術講演会 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 

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