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論文・著書情報
タイトル
和文:
英文:
Multi-physics Equivalent Circuit Models for MEMS Sensors and Actuators
著者
和文:
小西 敏文
,
町田 克之
,
益 一哉
,
年吉 洋
.
英文:
Toshifumi Konishi
,
Katsuyuki Machida
,
Kazuya Masu
,
Hiroshi Toshiyoshi
.
言語
English
掲載誌/書名
和文:
英文:
巻, 号, ページ
出版年月
2012年10月7日
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
英文:
The 1st Int. Symp. on More-than-Moore, the 222nd Meeting of the Electrochemical Society / The 2012 Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid-State Science (PRiME)
開催地
和文:
英文:
Honolulu, Hawaii
公式リンク
http://www.electrochem.org/meetings/biannual/222/222.htm
©2007
Tokyo Institute of Technology All rights reserved.