Multi-physics Equivalent Circuit Models for MEMS Sensors and Actuators

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Multi-physics Equivalent Circuit Models for MEMS Sensors and Actuators

著者

和文:	小西敏文, 町田克之, 益一哉, 年吉洋.
英文:	Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Hiroshi Toshiyoshi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2012年10月7日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The 1st Int. Symp. on More-than-Moore, the 222nd Meeting of the Electrochemical Society / The 2012 Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid-State Science (PRiME)

開催地

和文:
英文:	Honolulu, Hawaii

公式リンク