OES Measurement of Rotational Temperature of Hydrogen Molecule and Estimation of Gas Temperature of Low-Pressure Microwave Discharge Hydrogen Plasma

論文・著書情報

タイトル

和文:	低圧マイクロ波放電水素プラズマの水素分子回転温度の発光分光計測とガス温度推定
英文:	OES Measurement of Rotational Temperature of Hydrogen Molecule and Estimation of Gas Temperature of Low-Pressure Microwave Discharge Hydrogen Plasma

著者

和文:	清水良浩, 根津篤, 松浦治明, 赤塚洋.
英文:	Yoshihiro Shimizu, Atsushi Nezu, Haruaki Matsuura, Hiroshi Akatsuka.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	第30回プラズマプロセシング研究会 - プロシーディングス
英文:	Proceedings - 30th Symposium on Plasma Processing

巻, 号, ページ

pp. 131-132

出版年月

2013年1月21日

出版者

和文:	公益社団法人応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
英文:	Division of Plasma Electronics, The Japan Society of Applied Physics

会議名称

和文:	第30回プラズマプロセシング研究会
英文:	30th Symposium on Plasma Processing

開催地

和文:	浜松
英文:	Hamamatsu